ASC 5521加速度傳感器基于電容式MEMS技術(shù)，可在0Hz以下的低頻響應中使用。在傳感器元件內部，地震質(zhì)量與兩個(gè)導電電容板連接。如果地震質(zhì)量在兩個(gè)電容板之間振蕩，電容就會(huì )發(fā)生變化。這種電容變化通過(guò)ASIC（應用特定的集成電路）轉換成模擬信號。
ASC 4421加速度傳感器基于電容式MEMS技術(shù)，可在0Hz以下的低頻響應中使用。在傳感器元件內部，地震質(zhì)量與兩個(gè)導電電容板連接。如果地震質(zhì)量在兩個(gè)電容板之間振蕩，電容就會(huì )發(fā)生變化。這種電容變化通過(guò)ASIC（應用特定的集成電路）轉換成模擬信號。
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